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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

更新時間:2025-09-12

訪問量:1869

廠商性質:代理商

生產地址:

簡要描述:
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,掃描顯微鏡,超分辨率顯微鏡,生物技術,掩模/晶圓定位,樣本定位,干涉測量,計量
品牌其他品牌價格區間面議
產地類別進口產品種類電動
應用領域醫療衛生,電子/電池,綜合

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL


應用領域:

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量


產品參數:

型號:P-541.ZSL

主動軸:Z

集成傳感器:應變片傳感器

-20120 伏時Z向上的開環行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時的開環偏擺角:–毫弧度

Z向上的閉環行程:100微米

θX、θY向上的閉環偏擺角:-毫弧度

Z向上的分辨率,開環:0.2納米

θX、θY向上的開環分辨率:–微弧度

Z向上的閉環分辨率:2.5納米

θX、θY向上的閉環分辨率:–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

Z向上的重復精度:<10納米

θX、θY向上的重復精度:–微弧度

θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


產品參數:

型號:P-541.TSL

主動軸:Z,θX,θY

集成傳感器:應變片傳感器

-20120 伏時Z向上的開環行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時的開環偏擺角:±0.6毫弧度

Z向上的閉環行程:100微米

θX、θY向上的閉環偏擺角:±0.4毫弧度

Z向上的分辨率,開環:0.2納米

θX、θY向上的開環分辨率:0.02微弧度

Z向上的閉環分辨率:2.5納米

θX、θY向上的閉環分辨率:0.25微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

Z向上的重復精度:<10納米

θX、θY向上的重復精度:0.05微弧度

θX、θY向上的串擾(Z向運動):±15微弧度


德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL

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